Июль 2022
Пн Вт Ср Чт Пт Сб Вс
27 28 29 30 01 02 03
04 05 06 07 08 09 10
11 12 13 14 15 16 17
18 19 20 21 22 23 24
25 26 27 28 29 30 31
Новости компании

SI D200 PP+ R10-13/T5.5-6.5 T725 эпитаксиальная кремниевая пластина

Параметр Единица измерения Характеристики
1.Основные характеристики
Метод роста CZ
Ориентация 1.0.0
Отклонение градусы ±0.5
Тип проводимости P+
Легирующая примесь Бор
2. Электрические характеристики
Подложка
Легирующая примесь P+/Бор
Удельное объёмное сопротивление МОм*см 10.5±3.5
Радиальный градиент удельного электрического сопротивления, % % 8
Эпитаксиальный слой
Легирующая примесь P/Бор
Удельное объёмное сопротивление МОм*см 11.5 ±1.5
Толщина эпитаксиального слоя мкм 6 ±0.5
Ширина перехода мкм 2
3. Химические характеристики
Содержание кислорода F121-83 ат/см3 5.50 – 7.00 *1017
ppma 11.0 – 14.0
Содержание кислорода F1188 ат/см3 7.05 – 8.98 *1017
ppma 14.1 – 17.95
Загрязнение эпитаксиального слоя ат/см3 <1011
4.Подготовка пластины
Лазерная гравировка Micron spec 80
Слой 1 LPCVD Poly 8000+/-1000
Слой 2 LTO 3000+/-1000
5. Механические характеристики
Диаметр мм 200±2
Вырез
Местный градус 1.1.0±1
Образный V образный вырез
Глубинный мм >1 мм
Точность глубинного выреза мм +0.25/-0.00
Вырез под углом градус 90
Точность выреза под углом градус +5/-1
Краевой профиль SEMI STD
TTV мкм <2.5
TIR мкм <2.1
Деформация после осаждения пленки мкм <30
Толщина пластины мкм 725±20

Компания «ОЭС Спецпоставка» представляет весь спектр продукции GSEC на территории РФ и предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку, а также предоставление образцов. Получить дополнительную информацию вы можете на сайте производителя GSEC или обратившись в нашу компанию.

SI D200 PP+ R10-13/T5.5-6.5 T725 эпитаксиальная кремниевая пластина SI D200 PP+ R10-13/T5.5-6.5 T725 эпитаксиальная кремниевая пластина Параметр Единица измерения Характеристики 1.Основные характеристики Метод роста CZ Ориентация 1.0.0 Отклонение градусы ±0.5 Тип проводимости ...
DMCA.com Protection Status